采用真空壓力法檢漏時(shí)，需要將整個(gè)待檢產(chǎn)品放入真空密封室中，真空密封室與輔助排空系統(tǒng)和檢漏器相連。待測產(chǎn)品的充氣接口通過連接管道引出真空密封室，然后與氦氣源連接。當(dāng)被測產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣會(huì)通過漏孔進(jìn)入真空密封室，然后進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被測產(chǎn)品總泄漏率的測量。

真空檢漏法:是指管道和檢漏儀的敏感元件處于真空狀態(tài)，將泄漏物質(zhì)施加到管道外部的方法。如果有泄漏孔，泄漏物質(zhì)將通過泄漏孔進(jìn)入被測零件和敏感元件的空間，泄漏物質(zhì)將被敏感元件檢測到。主要有真空計(jì)法、靜態(tài)升壓法和氦質(zhì)譜檢漏儀法。

氦質(zhì)譜檢漏是真空檢漏領(lǐng)域不可缺少的技術(shù)。它具有檢漏效率高、操作簡單、儀器響應(yīng)靈敏、精度高、不易受其他氣體干擾等優(yōu)點(diǎn)，在泄漏檢測中得到廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是一種基于質(zhì)譜原理的氣密性檢測儀器，采用氦作為氣體泄漏指示器。它由離子源、分析器、收集器、由冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室、抽氣系統(tǒng)和電氣部分組成。質(zhì)譜室中燈絲發(fā)出的電子在室內(nèi)來回振蕩，與通過漏孔進(jìn)入室內(nèi)的室內(nèi)氣體和氦氣碰撞，使其電離成正離子。這些氦離子在加速電場的作用下進(jìn)入磁場，由于洛倫茲力而發(fā)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧軌道。改變加速電壓可以使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收槽到達(dá)接收電極并被探測到。氦注入法和氦吸收法是氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏中最常用的兩種方法。