如果真空設(shè)備出現(xiàn)故障，我們的經(jīng)驗(yàn)就是不要急于下結(jié)論，不要急于拆卸和調(diào)整設(shè)備，要認(rèn)真分析故障現(xiàn)象，首先要使用真空儀器粗略地判斷設(shè)備狀態(tài)。然后分別測(cè)試真空泵和整個(gè)真空單元，以確保毫無(wú)問(wèn)題地獲得真空。進(jìn)行真空檢漏，根據(jù)問(wèn)題討論的原理進(jìn)行檢漏，選擇檢漏儀和檢漏方法。執(zhí)行靜態(tài)增壓測(cè)試以確定空氣泄漏和放氣。然后進(jìn)行分段和整體泄漏檢測(cè)以找出泄漏點(diǎn)并確定其泄漏率。根據(jù)上述真空維護(hù)計(jì)劃，結(jié)合理論與實(shí)踐，實(shí)踐了一些真空冶金爐，真空加熱爐，真空鍍膜機(jī)，真空釬焊爐以及各種真空標(biāo)定檢測(cè)裝置，成功解決了設(shè)備故障，取得了良好的效果。

真空系統(tǒng)的故障通常分為兩類：一類是真空泵組和測(cè)量系統(tǒng)的故障，另一類是真空系統(tǒng)的泄漏。對(duì)于這一類故障，請(qǐng)檢查真空泵的極限真空度或更換質(zhì)量好的真空計(jì)進(jìn)行確認(rèn)。對(duì)于第二種類型的故障，需要進(jìn)行泄漏檢測(cè)。半導(dǎo)體設(shè)備的泄漏檢測(cè)中經(jīng)常使用兩種方法：靜壓泄漏檢測(cè)和He質(zhì)譜泄漏檢測(cè)。靜壓泄漏檢測(cè)方法是用閥門(mén)將真空室與真空泵組分開(kāi)，并測(cè)量其內(nèi)部壓力的變化。 He質(zhì)譜泄漏檢測(cè)方法較為復(fù)雜。

在容器的制造過(guò)程中執(zhí)行多次泄漏檢測(cè)是超高真空容器制造過(guò)程的主要方面，與一般的機(jī)械制造過(guò)程不同。超高真空容器的泄漏檢測(cè)不同于一般的高真空泄漏檢測(cè)。一般而言，不允許在容器中泵送水壓和氣壓的正壓泄漏檢測(cè)方法。由于超高真空容器的壁薄且焊接接頭的強(qiáng)度低，正壓泄漏檢測(cè)可能會(huì)損壞容器并污染干凈的真空容器。因此，氦質(zhì)譜儀檢漏儀用于超高真空容器的檢漏。這種檢漏方法可以發(fā)現(xiàn)非常小的泄漏，檢漏精度為10-10 Pa.L / s。