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真空鍍膜機(jī)是我們經(jīng)??吹降囊环N工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備,它主要用于在材料表面進(jìn)行涂層處理,以改變材料的表面性質(zhì),從而達(dá)到不同的功能需求。其中磁控濺射技術(shù)是真空鍍膜的一種重要方式,本文將對(duì)磁控濺射方式做一介紹。車(chē)燈鍍膜設(shè)備
一、磁控濺射的原理
磁控濺射法是通過(guò)高能量離子或電子轟擊鎢靶材,使靶材表面發(fā)生濺射并沉積于襯底上,從而形成薄膜覆蓋。磁控濺射法的特點(diǎn)是,磁控電子束發(fā)射靶材原子,因而被容易多種金屬、硅等的高熔點(diǎn)金屬物質(zhì)所使用。一般的磁控濺射法由方形真空室、電源極、陰極、襯底、氣路組成。
二、設(shè)備的構(gòu)成
真空鍍膜機(jī)是由真空室、電源、控制系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)和泵組成的。其中,電源是將直流功率轉(zhuǎn)換成高頻交流功率的變壓器,真空室設(shè)有一個(gè)陰極,以作為涂層材料,完成涂層作業(yè)。車(chē)燈鍍膜設(shè)備
三、設(shè)備的工作原理
電源產(chǎn)生高頻磁場(chǎng)以激發(fā)陰極產(chǎn)生離子等離子體,再通過(guò)高能離子轟擊陰極表面,可以將陰極上的原子釋放出來(lái),形成離子態(tài),然后經(jīng)由一系列的吸附、沉積等化學(xué)反應(yīng)得到所需的薄膜。
四、設(shè)備的優(yōu)勢(shì)
磁控濺射方式具有較高的工藝穩(wěn)定性、高反應(yīng)速度以及較好的薄膜質(zhì)量,因此在一些高端材料的制造過(guò)程中得到廣泛使用。車(chē)燈鍍膜設(shè)備
總之,磁控濺射技術(shù)用于真空鍍膜機(jī)可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面涂層的控制,使其性能得到提升,這種濺射方式具有高效、穩(wěn)定、環(huán)保等優(yōu)勢(shì),因此備受廠(chǎng)家和消費(fèi)者的青睞。