整套設(shè)備的日常維護：

(1)操作人員要熟悉各種儀表、泵，設(shè)備的各部分。閱讀并理解各種說明書。

(2)冷卻水水壓應(yīng)保持0.1?0.2 Mpa之間，出水溫度w 45C。

(3)壓縮空氣壓力在0.4?0.5 Mpa之間。

(4)每爐開機前，要檢查保護氣的氣瓶容量，以免氣體充不足，更換氣瓶。 

(5)開機后如有異常情況，應(yīng)立即排除或停機查找原因。

 (6) 經(jīng)常檢查各部分的回水量，工作時應(yīng)保證各部分有充足的冷卻水。

(7)設(shè)備停止使用時，應(yīng)將爐內(nèi)氣體抽空，長時間不用，要充入保護性氣體，并把設(shè)備水冷套內(nèi)的循環(huán)水放掉。

(8)機械泵、羅茨泵應(yīng)定期換油加油，羅茨泵的油杯中要保持一直有油。換油時一定要把廢油放干凈。

(9)擴散泵換油時，內(nèi)部如有氧化，要把擴散泵內(nèi)部的氧化層處理干凈，然后再換上新油。

(10)充入的保護性氣體，純度不應(yīng)小于99.99%。

(11)本設(shè)備不允許使用易燃易爆和具有腐蝕性氣體作為保護氣氛。

(12)設(shè)備表面及儀表表面要保持清潔，擦拭爐體內(nèi)壁不允許有 帶有水份及沾有非真空類用油的抹布擦拭。

(13 )氣動系統(tǒng)的氣動三連件上的油水分離器要經(jīng)常放水，油霧器內(nèi)應(yīng)注入真空擴散泵油。

(14)設(shè)備的整機電壓要保證在350?420 V范圍內(nèi)。三相要平衡。

(15)規(guī)管、電接點壓力表、熱偶等處要經(jīng)常涂上擴散泵油，使之與座之間形成一層油膜，防止漏氣。以 上各部分及法蘭連接處不允許長期使用真空封泥密封。

(16 )各部分的螺栓定期檢查，如發(fā)現(xiàn)松動，及時擰緊。

(17)設(shè)備工作時，注意觀察各儀表的顯示情況，及各泵的聲音，以便及時發(fā)現(xiàn)異常，找出真空系統(tǒng)安裝及制成方案問題。

（18 ）設(shè)備的使用環(huán)境，在相對濕度85%A下，溫度在10?40 C。在拆修設(shè)備時，各部分不

 許用重錘敲擊，密封面、密封槽不許劃傷。

（19）設(shè)備在工作時，操作人員不得長時間離崗。