如果擴(kuò)散泵或機(jī)組長期使用后泵送性能逐漸變差，即極限真空度和泵送速度降低，而其他條件正常，主要原因是擴(kuò)散泵油逐漸氧化，質(zhì)量變差。此時(shí)，應(yīng)更換新的擴(kuò)散泵油。換油步驟:首先拆下擴(kuò)散泵，取出泵芯，按要求清洗并干燥泵芯，然后正確組裝并添加新油。

如果擴(kuò)散泵由于特殊原因突然泄漏到大氣中，如真空計(jì)管破裂、誤開真空容器的排氣閥或未關(guān)閉高真空閥，應(yīng)立即關(guān)閉高真空閥，停止擴(kuò)散泵的加熱，迫使油底殼冷卻。故障排除后，應(yīng)進(jìn)行泵送試驗(yàn)，并根據(jù)結(jié)果判斷擴(kuò)散泵油是否需要更換。

可以在擴(kuò)散泵的冷卻水管出口(而不是進(jìn)口)安裝流量計(jì)。借助流量計(jì)信號，系統(tǒng)控制器可以切斷擴(kuò)散泵的電源，關(guān)閉高真空閥門和前級管道閥門。擴(kuò)散泵的冷卻水管入口處使用水過濾器，以防止污染和堵塞水管，并避免過早維護(hù)。安裝在擴(kuò)散泵泵殼外的恒溫開關(guān)和安裝在鍋爐上的熱敏開關(guān)可以檢測泵壁和泵油的工作溫度，也可以監(jiān)測泵工作液的液位。當(dāng)真空室有泄漏孔時(shí)，熱電偶表或皮拉尼表控制器上的設(shè)定值給出自動控制器信號，以便在前一級壓力過高時(shí)，可以關(guān)閉高真空閥并斷開擴(kuò)散泵電源。許多液氮裝置配有低液位報(bào)警傳感器，當(dāng)制冷劑耗盡時(shí)，該傳感器會關(guān)閉高真空閥。