油擴(kuò)散泵的工作原理為低蒸汽壓油品。這樣做的目的是使采用容積泵的更高真空(低壓)的泵能夠僅比使用更多。盡管其用途主要是在高真空范圍內(nèi)(降至10-9毫巴)，但今天擴(kuò)散泵產(chǎn)生的壓力接近10-10毫巴時(shí)，便可用于現(xiàn)代流體和配件。讓擴(kuò)散泵高，超高真空更吸引人的是它的高真空抽氣和抽速的單位成本低，速度比其它類(lèi)型的泵都要快。該擴(kuò)散泵不能直接排放到大氣中，以前的級(jí)別的機(jī)械泵一般用來(lái)維持出口壓力大約0.1毫巴。

在將擴(kuò)散泵拆裝到系統(tǒng)中后，若系統(tǒng)內(nèi)的一切都嚴(yán)格按照上述操作程序進(jìn)行抽氣，則應(yīng)能達(dá)到泵的原位極限壓力；如果仔細(xì)反復(fù)地調(diào)整各噴口間隙，真空度還應(yīng)增加。若真空度不上升，則先檢查泵所在系統(tǒng)是否有超過(guò)允許的漏氣率；同時(shí)檢查擴(kuò)散泵加熱器是否燒斷，供電電壓是否正常，泵冷卻是否正常。若以上各方面都正常，則可認(rèn)為是泵芯裝配存在問(wèn)題，如裝歪、噴管間隙不當(dāng)、泵芯裝配前未清洗、有機(jī)溶劑未烘干、泵油不足或泵內(nèi)裝入劣質(zhì)泵油、加熱功率調(diào)節(jié)不當(dāng)?shù)取?/p>

真空系統(tǒng)的返流包括擴(kuò)散泵泵液從擴(kuò)散泵轉(zhuǎn)移到真空室，以及機(jī)械泵油對(duì)系統(tǒng)的有機(jī)污染物，尤其是真空室。油液擴(kuò)散泵工作時(shí)，無(wú)論采用哪種泵油，即使泵口加冷阱，也總會(huì)有部分油液回流至高真空端。他們?cè)跀U(kuò)散泵口設(shè)定的壓力，有時(shí)要比泵壁溫度下的飽和油蒸氣壓力大得多。這種情況不僅影響到真空系統(tǒng)的極限壓力，也給被抽真空容器帶來(lái)了污染，因此返流率是擴(kuò)散泵系統(tǒng)的主要檢測(cè)指標(biāo)。