油擴(kuò)散泵作為低蒸汽壓油運(yùn)行。目的是通過容積式泵獲得比僅可能獲得的更高的真空(低壓)。雖然它的使用主要與高真空范圍(低至10-9毫巴)有關(guān)，但今天的擴(kuò)散泵產(chǎn)生的壓力接近10-10毫巴，適用于現(xiàn)代流體和附件。擴(kuò)散泵之所以具有高真空和超高真空的吸引力，是因?yàn)樗鼘λ袣怏w的抽吸能力強(qiáng)，單位成本的抽吸速度低，而且它的速度與其他類型的泵在相同的真空范圍內(nèi)使用。擴(kuò)散泵不能直接排放到大氣中，因此通常使用反向機(jī)械泵來保持約0.1毫巴的出口壓力。

油擴(kuò)散泵主要由泵體、擴(kuò)散噴嘴、蒸汽管、油底殼、加熱器、擴(kuò)散器、冷卻系統(tǒng)和噴嘴組成。當(dāng)前級泵將油擴(kuò)散泵預(yù)抽至低于1帕的真空時，油底殼可以開始加熱。沸騰時，噴嘴噴出高速蒸氣流，熱的運(yùn)動氣體分子擴(kuò)散到蒸氣流中，與定向運(yùn)動的油蒸氣分子碰撞。因此，氣體分子獲得動量，產(chǎn)生與油蒸汽分子相同方向的定向流動。到前一級，油蒸汽冷凝釋放氣體分子，被前一級泵抽走，達(dá)到抽氣的目的。

真空泵的油泵啟動快，耗電少，運(yùn)行維護(hù)成本低，抽氣速度快，效率高，對抽入氣體中含有的少量水蒸氣和灰塵不敏感，在~Pa的壓力范圍內(nèi)抽氣速度大，可快速清除突然釋放的氣體。那個壓力范圍正好在油封機(jī)械設(shè)備的真空泵和擴(kuò)散泵之間。因此，常將固體空氣泵油串聯(lián)在被擴(kuò)散泵送的油封機(jī)械設(shè)備的固體空氣泵之間，以提高中壓類的泵送能力。當(dāng)時也叫機(jī)械設(shè)備的壓力泵。