首先，解釋擴(kuò)散泵的工作原理。擴(kuò)散泵依靠真空泵內(nèi)部沸騰的油向上蒸發(fā)，向上蒸發(fā)的泵油通過(guò)泵芯的反射改變其運(yùn)動(dòng)方向向下運(yùn)動(dòng)(泵芯一般為三層結(jié)構(gòu)，類似倒碗)。向下移動(dòng)時(shí)，會(huì)帶走頂部的氣體，向下移動(dòng)。氣體到達(dá)底部時(shí)，由前級(jí)泵通過(guò)擴(kuò)散泵底部的排氣口抽走，通過(guò)連續(xù)循環(huán)達(dá)到抽真空的效果。

旋片真空泵。它具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、重量輕、噪音低、振動(dòng)小的優(yōu)點(diǎn)。因此適用于擴(kuò)散泵的前置泵，更適合配套精密儀器和實(shí)驗(yàn)室使用。例如:質(zhì)譜儀、冰箱流水線、真空冷凍干燥機(jī)等?？煞譃?①自凈擴(kuò)散泵:泵液中的揮發(fā)性雜質(zhì)通過(guò)專用機(jī)械輸送到出口而不返回鍋爐的油擴(kuò)散泵；②分餾擴(kuò)散泵:該泵有分餾裝置，使蒸汽壓力較低的工作液蒸汽進(jìn)入高真空噴嘴，而蒸汽壓力較高的工作液蒸汽進(jìn)入低真空噴嘴。它是一個(gè)多級(jí)油擴(kuò)散泵。

擴(kuò)散泵泵送系統(tǒng)可以適當(dāng)配備一些傳感器，當(dāng)出現(xiàn)誤操作、漏孔、冷卻不良、泵液不足時(shí)，傳感器可以發(fā)出信號(hào)關(guān)閉系統(tǒng)或保持系統(tǒng)處于安全狀態(tài)。真空系統(tǒng)中的氣動(dòng)閥和電磁閥應(yīng)能在設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)立即動(dòng)作，使系統(tǒng)處于安全狀態(tài)。當(dāng)壓縮空氣或電源故障時(shí)，關(guān)閉除粗泵放氣閥以外的所有閥門。應(yīng)打開(kāi)粗糙泵的放氣閥，以防止機(jī)械泵油回流到粗糙泵管道中。