油擴散泵作為低蒸汽壓油運行。目的是通過容積式泵獲得比僅可能獲得的更高的真空(低壓)。雖然它的使用主要與高真空范圍(低至10-9毫巴)有關，但今天的擴散泵產(chǎn)生的壓力接近10-10毫巴，適用于現(xiàn)代流體和附件。擴散泵之所以具有高真空和超高真空的吸引力，是因為它對所有氣體的抽吸能力強，單位成本的抽吸速度低，而且它的速度與其他類型的泵在相同的真空范圍內(nèi)使用。擴散泵不能直接排放到大氣中，因此通常使用反向機械泵來保持約0.1毫巴的出口壓力。

油擴散泵主要由泵體、擴散噴嘴、蒸汽管、油底殼、加熱器、擴散器、冷卻系統(tǒng)和噴嘴組成。當前級泵將油擴散泵預抽至低于1帕的真空時，油底殼可以開始加熱。沸騰時，噴嘴噴出高速蒸氣流，熱的運動氣體分子擴散到蒸氣流中，與定向運動的油蒸氣分子碰撞。因此，氣體分子獲得動量，產(chǎn)生與油蒸汽分子相同方向的定向流動。到前一級，油蒸汽冷凝釋放氣體分子，被前一級泵抽走，達到抽氣的目的。

高速噴射產(chǎn)生沸騰的液體，并通過噴射蒸汽引導組件。在噴嘴內(nèi)部，層流變成超音速和分子。通常用于戰(zhàn)斗機，以加強抽水作業(yè)。擴散泵采用外部冷卻或氣流或水管。由于擴散泵外殼外部蒸汽噴射冷卻的影響，工作流體被濃縮、回收并被指示返回鍋爐。泵送氣體繼續(xù)流入的壓力不斷增大，泵基礎流經(jīng)擴散泵出口，在此壓縮輔助前級機械泵，排出環(huán)境壓力。