如果長時間使用后，擴散泵或擴散單元的泵送性能逐漸下降，即極限真空度和泵送速度降低，并且其他條件正常，則主要原因是擴散泵油逐漸被氧化并且質(zhì)量變差。此時，應(yīng)更換新的擴散泵油。換油步驟為：首先卸下擴散泵，取出泵芯，根據(jù)需要清洗并干燥泵芯，正確組裝并添加新油。

由于特殊原因，例如真空計的爆炸，錯誤地打開真空容器放氣閥或無法關(guān)閉高真空閥等，當擴散泵突然泄漏到大氣中時，高真空應(yīng)立即關(guān)閉閥門，以阻止擴散泵加熱并迫使油底殼冷卻。消除故障后，應(yīng)進行泵送測試，并判斷結(jié)果是否需要更換擴散泵油。

流量計可以安裝在擴散泵冷卻水管的出口（而不是入口）。借助于流量計的信號，系統(tǒng)控制器可以切斷擴散泵的電源并關(guān)閉高真空閥和前級閥。在擴散泵冷卻水管的入口處使用濾水器，以防止積垢堵塞水管并避免過早維護。安裝在擴散泵泵殼外部的恒溫開關(guān)和安裝在鍋爐上的熱敏開關(guān)可用于檢測泵壁和泵油的工作溫度，還可以監(jiān)測泵工作液的液位。當真空室中有泄漏時，熱電偶壓力計或Pirani壓力計控制器上的設(shè)置值將自動發(fā)出控制器信號，以便它可以關(guān)閉高真空閥并導(dǎo)致前一級的前一級過高。施加壓力時擴散泵的電源。許多液氮裝置都配備了一個低液位警報傳感器，當制冷劑耗盡時，該傳感器會關(guān)閉高真空閥。