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在真空設(shè)備發(fā)生故障時，不要急于下結(jié)論，不要急于拆調(diào)設(shè)備，要仔細分析故障現(xiàn)象，先用真空儀表大概判斷設(shè)備狀態(tài)。在保證真空獲取無問題的前提下，對真空泵進行獨立測試，并對整個真空裝置進行檢測。根據(jù)問題討論的原則，進行真空檢漏，選擇檢漏儀和檢漏方式。進行靜壓試驗，判斷漏、漏氣體。再分段整體檢漏，找出漏點，確定其漏率大小。按照以上的真空維修方案，在理論與實踐的結(jié)合上，我們對幾種真空冶金爐、真空熱爐、真空鍍膜機、真空釬焊爐及各種真空校準檢測裝置進行了實踐，取得了較好的效果。
一般認為，半導(dǎo)體設(shè)備真空系統(tǒng)發(fā)生故障的原因有兩種：一是真空泵組和測量系統(tǒng)故障，二是真空系統(tǒng)泄漏故障。對一類故障，可檢測真空泵的極限真空度，或更換好真空表進行確認。對第二類故障，要進行漏檢。半導(dǎo)體設(shè)備上經(jīng)常用到兩種檢漏方法：靜壓檢漏法和He質(zhì)譜法。靜壓檢漏方法是將真空室與真空泵組用閥門隔開，測量其內(nèi)部壓力變化。質(zhì)譜法檢測漏液比較復(fù)雜。
超真空容器制造工藝與一般機械制造工藝不同，在于其制造過程中要進行多次檢漏。超真空容器檢漏與普通真空容器檢漏有很大區(qū)別，一般不允許采用正壓法檢漏容器內(nèi)的壓力和氣壓。由于超真空容器壁薄、焊接接頭強度低，正壓檢漏不僅會損壞容器，而且還會污染潔凈真空容器。因此，超高真空容器的漏檢均采用氦質(zhì)譜檢測法，這種方法能檢測出微量泄漏，漏檢精度可達10-10帕/秒。
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