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肇慶市科潤真空設備有限公司

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真空漏率如何測量?

2021-06-05 14:15:55

真空泵信息:測量真空泄漏率的方法是用橙色容器的整個可疑區(qū)器的整個可疑區(qū)域(或被檢容器中充滿人的泄漏物質(zhì)),另一側抽真空(或大氣);或者在被檢容器的內(nèi)外兩側形成壓差(或泄漏物質(zhì)的濃度差),在低壓(或低濃度)側2表示泄漏物質(zhì)的泄漏率和濃度變化。

(1)加壓條件下容器泄漏率的測定。

在加壓條件下測量兒童容器泄漏率的方法有氣泡法、超聲波法、氣敏半導體泄漏檢測法、氨泄漏檢測法、鹵素泄漏檢測法、氮質(zhì)譜泄漏檢測法等。

(2)真空條件下容器泄漏率的測定。

1.使用接收真空容器的真空規(guī)則、離子泵和殘留氣體分析質(zhì)譜計來測量容器的泄漏率。

2.可選擇流盆測量、壓力測量、鹵素檢漏儀和氮質(zhì)譜檢漏儀測量全漏率。


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(3)密封無損檢漏。

1.盡可能使用密封件來指示密封件內(nèi)部壓力和泄漏物質(zhì)分壓的規(guī)則管和殘留氣體分析質(zhì)譜計進行泄漏檢測。

2.一些原本不測壓的裝置,如:電子管、顯像管等,如果改變饋電方式,將其電極連接到電離規(guī)中,測量全出管內(nèi)離子流的變化,就可以知道管內(nèi)壓力的變化率。當這種裝置大量生產(chǎn)時,離子流的變化率可通過校準直接轉換為漏率。

3.如果密封件內(nèi)部有可以作為泄漏的物質(zhì),可以通過動態(tài)或靜態(tài)方法檢測泄漏到外面的泄漏物質(zhì),從而檢測出泄漏孔。通常,這種密封件內(nèi)的泄漏氣體的分壓高于背壓法。因此,泄漏檢測靈敏度高,成本低。

4.背壓檢漏適用于成批生產(chǎn)小密封時的檢漏;可采用鹵素檢漏儀、氮質(zhì)譜檢漏儀、放射性同位素等檢漏方法和儀器。


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