歡迎光臨肇慶市科潤真空設(shè)備有限公司網(wǎng)站!
為了保證真空設(shè)備或系統(tǒng)良好的密封性能,僅在設(shè)備安裝后才能找到泄漏孔的位置是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的。在真空設(shè)備或系統(tǒng)的設(shè)計、制造、調(diào)試和使用過程中,需要隨時進行真空檢漏。
一、鍍膜設(shè)備廠家設(shè)計中的注意事項
1.根據(jù)設(shè)備的工藝要求確定真空設(shè)備的允許泄漏率,并根據(jù)這個總泄漏率確定各部件的允許泄漏率。
2.根據(jù)設(shè)備允許泄漏率等指標(biāo),在設(shè)計階段初步確定采用的檢漏方法,并將其作為指導(dǎo)調(diào)試驗收的基本原則之一。
3.根據(jù)設(shè)備或部件的允許泄漏率指標(biāo),確定設(shè)備的密封、連接方式和整體加工精度,以及哪種動密封形式能滿足要求。例如,法蘭用金屬或橡膠密封。
4.設(shè)計容器的結(jié)構(gòu)強度時,如果采用壓力法進行泄漏檢測,應(yīng)考慮被測零件的耐壓性和結(jié)構(gòu)強度。
5.在選擇零件的結(jié)構(gòu)材料時,考慮可能被工作介質(zhì)和泄漏氣體腐蝕的材料是否會造成損壞。
6.在結(jié)構(gòu)設(shè)計過程中,應(yīng)在容器或系統(tǒng)上預(yù)留必要的檢漏儀備用接口,以便在設(shè)備組裝和調(diào)試過程中進行檢漏。特別是對于大型復(fù)雜的管道系統(tǒng),通常需要采用分段檢漏的方法,因此管道應(yīng)設(shè)置分段隔離閥,并在每個隔離段上預(yù)留檢漏接口。
7.設(shè)計零件結(jié)構(gòu)時,盡量避免采用可能干擾檢漏的設(shè)計方案。比如真空室的螺絲孔不能是盲孔,因為螺絲孔內(nèi)部剩余空間的氣體在安裝螺絲后只能通過螺紋間隙逸出,造成虛漏。從而延長系統(tǒng)的泵送時間并干擾正常的泄漏檢測。如圖所示,真空檢漏中不應(yīng)出現(xiàn)的結(jié)構(gòu)。
8.同樣,結(jié)構(gòu)設(shè)計中不允許連續(xù)雙面焊接和多層密封圈結(jié)構(gòu),因為這樣會在中間形成“寄生產(chǎn)物”,里面的氣體會形成虛漏;但當(dāng)內(nèi)外雙面焊縫或密封圈同時泄漏時,泄漏氣體穿越雙層焊縫的響應(yīng)時間過長,無法正常檢測泄漏。
9.磁控真空鍍膜機設(shè)計焊接結(jié)構(gòu)時,盡量減少最終組裝后無法檢測到的焊縫。
二、真空設(shè)備制造過程中的泄漏檢測
在設(shè)備的加工階段,需要遵循加工工藝(尤其是焊接工藝)及時檢測半成品零件的泄漏。對于制造后不能接觸、檢查或修理的零件,應(yīng)嚴(yán)格檢查焊接質(zhì)量,不合格的零件應(yīng)及時重新焊接、修理和重新檢查,符合要求后方可進行下一道工序。特別是對于大型容器的組裝焊接和加工,中間過程的檢漏非常關(guān)鍵,需要專門的檢漏工具(如檢漏盒和盲板等)。)應(yīng)在必要時進行設(shè)計和制造。對于帶有雙層壁水冷套的真空室體,先將內(nèi)室壁裝焊并檢查泄漏情況,確認(rèn)無泄漏孔后再裝焊外室壁。同理,對于室壁外側(cè)有保溫層,難以拆卸的情況,必須嚴(yán)格檢查室壁有無滲漏,才能對外部結(jié)構(gòu)進行涂覆。
在條件允許的情況下,所有真空法蘭及其連接管道(包括真空室法蘭和室壁)應(yīng)采用焊后加工法蘭面的工藝。即使焊后未加工的法蘭在安裝調(diào)試階段可能滿足密封要求,但在設(shè)備使用過程中,熱、振動等因素可能會誘發(fā)焊接應(yīng)力的釋放,導(dǎo)致法蘭變形,密封性能下降。