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真空鍍膜技術(shù)在工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)實驗中的應(yīng)用要求,真空鍍膜設(shè)備真空室的真空度能滿足真空過程的操作要求,保持穩(wěn)定的壓力值。現(xiàn)在,要完成這一要求,就不需要手動調(diào)節(jié)真空微調(diào)閥了。目前,壓力自動調(diào)節(jié)模式的選擇往往需要壓力控制器的幫助。
磁控真空鍍膜機涂布機壓力控制器通常由真空表、真空調(diào)節(jié)閥和自動調(diào)壓電路組成。它是一種自動控制儀表,集壓力調(diào)節(jié)和真空測量于一體。具有自動、手動調(diào)壓功能。其性能指標主要包括:反應(yīng)時間、流量控制范圍、控制精度和壓力控制范圍等,這些性能取決于真空調(diào)節(jié)閥、控制電路和真空調(diào)節(jié)等涂層機部件的性能。
壓力控制器的操作有兩種方式:自動和手動
1手動 當(dāng)開關(guān)轉(zhuǎn)到手動開關(guān)位置時,壓力控制器將進入手動壓力調(diào)節(jié)模式,與上述手動調(diào)節(jié)真空微調(diào)節(jié)閥一樣;
2自動的 當(dāng)開關(guān)轉(zhuǎn)到自動開關(guān)位置時,壓力控制器將形成閉環(huán)自動控制形式,自動調(diào)節(jié)壓力設(shè)定值。其調(diào)節(jié)原理是:首先由壓力設(shè)定裝置設(shè)定控制壓力值,然后根據(jù)被控對象的特點,選擇PID調(diào)節(jié)單元的微分時間、積分時間和比例度。當(dāng)真空表輸出電壓信號(信號為控制涂布機真空室壓力值),調(diào)壓系統(tǒng)將通過比較將該值與壓力設(shè)定值進行比較,計算兩者之間的差值,然后采用驅(qū)動電路和真空調(diào)節(jié)閥將氣體流轉(zhuǎn)換為真空室,保持真空室的真空度,并保持在其壓力設(shè)定值。
當(dāng)然,上述真空鍍膜設(shè)備的自動壓力控制是基于理想的控制狀態(tài)。在實際使用過程中,往往受壓力控制系統(tǒng)中調(diào)壓單元特性的影響,導(dǎo)致控制壓力一般接近設(shè)定壓力值(在允許偏差范圍內(nèi))。壓力控制器的壓力控制精度越高,偏差越小,反之亦然。壓力控制器廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、離子束刻蝕、半導(dǎo)體材料、離子注入等領(lǐng)域。