真空鍍膜設(shè)備背壓檢漏法

2021-08-19 17:07:40

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背壓檢漏法是一種沖裝測(cè)漏與真空泵測(cè)漏緊密結(jié)合的方式，真空鍍膜設(shè)備中有用以封離后的電子元器件、半導(dǎo)體元器件等液壓密封件的高質(zhì)量測(cè)漏技術(shù)性中。

其測(cè)漏全過程大部分可分成沖裝、凈化處理和測(cè)漏三個(gè)流程。

(1)沖裝全過程是將被檢件在充有髙壓示漏汽體的器皿內(nèi)儲(chǔ)放一定時(shí)間，如被檢件有標(biāo)準(zhǔn)孔板，示漏汽體就可以根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)孔板進(jìn)到被檢件的內(nèi)部，而且將隨泡浸時(shí)間的提升和打氣工作壓力的提高，被檢件內(nèi)部示漏汽體的分工作壓力也必定會(huì)慢慢上升。

(2)凈化處理全過程是選用干躁N2流或干躁空氣在沖裝器皿外界或在其內(nèi)部煤氣發(fā)生爐被檢件。

如不具有氣動(dòng)閥門時(shí)也可使被檢件靜放，便于除去吸咐在被檢件表面表面的示漏汽體。

在凈化處理全過程中，由于有一部分汽體必定會(huì)從被檢件內(nèi)部經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)孔板外流，進(jìn)而造成被檢件內(nèi)部示漏汽體的分工作壓力慢慢降低，并且凈化處理時(shí)間越長(zhǎng)，示漏汽體的分損耗就越大。

(3)測(cè)漏全過程則是將凈化處理后的被檢件放進(jìn)真空泵房間內(nèi)，將測(cè)漏儀與真空系統(tǒng)相互連接后開展測(cè)漏。

真空包裝后因?yàn)閴毫Σ罟π?，示漏汽體就可以根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)孔板從被檢件內(nèi)部排出，隨后再歷經(jīng)真空系統(tǒng)進(jìn)到測(cè)漏儀，按測(cè)漏儀的輸出標(biāo)示判斷標(biāo)準(zhǔn)孔板的存有以及漏率的尺寸。

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