磁控濺射鍍膜為什么是一種薄膜沉積
2021-01-22 14:45:16
隨著經(jīng)濟和技術(shù)的快速發(fā)展,各種功能薄膜已經(jīng)廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代工業(yè)的各個領(lǐng)域。在各種制備薄膜的方法中,真空蒸發(fā)和磁控濺射是兩種最重要的方法。目前,電阻加熱真空蒸發(fā)鍍膜機具有成膜工藝簡單、操作方便的優(yōu)點,但隨著薄膜在高科技領(lǐng)域的興起和發(fā)展,特別是微電子和光電產(chǎn)業(yè)的快速...
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