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真空泵開始工作不久,出現(xiàn)了低壓力pg。真空泵繼續(xù)運行,真空泵溫度上升,真空泵油飽和蒸氣壓上升,粘度下降,進口壓力稍微恢復(fù)到Pg。Pg是真空泵獲得的穩(wěn)定低壓力,也是真空泵的極限壓力。
旋轉(zhuǎn)片真空泵的極限壓力與測量時使用的真空計的種類有關(guān)。用壓縮式真空計測量時,極限壓力值比用導(dǎo)熱式真空計(熱偶計或皮氏計等)測量的結(jié)果低一個數(shù)量級。這是因為前者只能測量氣體的分壓,后者測量被壓迫氣體的全壓。我國目前規(guī)定使用壓縮式真空計測量油封機械真空泵的極限壓力。
真空泵的循環(huán)油量也會影響真空泵的極限壓力。隨著油量的增加,密封效果越好,真空泵的極限壓力與油量的關(guān)系就會發(fā)生變化,最終達到油的飽和蒸汽壓Po。事實上,真空泵油含有大量的空氣和水分,真空泵油進入真空泵腔后,吸收真空泵油中的空氣和水分釋放,真空泵的極限壓力和油量的關(guān)系向上發(fā)展。
一般來說,真空泵油應(yīng)保持在指定的油位上,以保持真空泵的循環(huán)油量。對于雙真空泵,真空泵油要經(jīng)過低真空級脫氣后才能進入高真空級,這樣可以減少真空泵油在高真空級中的排氣量,降低真空泵的極限壓力。
真空泵的極限壓力與真空泵油的工作溫度有關(guān)。油溫越高,油的飽和蒸汽壓力越高,真空泵的極限壓力也越高。