除了電力以外，真空設(shè)備內(nèi)部不能依賴其他公共資源。要求依靠水和油來生產(chǎn)真空設(shè)備存在的問題是：由于水的蒸發(fā)和變質(zhì)，使真空設(shè)備在盤車運行時密封受到破壞；由于油來生產(chǎn)真空設(shè)備在這種工況下會引起油乳化，進而損壞，而采用自動定期盤車是確保運行設(shè)備始終保持良好運行的重要方法之一。

負壓電鍍設(shè)備的維護和保養(yǎng)方法：

真空鍍膜設(shè)備每完成200個鍍膜過程以上，清洗工件一次。

真空室內(nèi)壁上重復(fù)使用燒堿(NaOH)飽和溶液擦拭(注意人體皮膚不能直接接觸燒堿溶液，以免灼傷)的目的是使鍍膜鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后的膜層脫落，釋放氫氣。再次用清水清洗真空室及用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)污垢。

粗抽泵(滑閥泵、旋片泵)若連續(xù)工作一個月(雨季減半)，需更換新的油品。

做法：擰開排油螺栓，把舊油排掉，重新啟動泵幾秒鐘，使泵內(nèi)舊油完全排出。旋回卸下螺栓，并加入新油定量(用油鏡觀察)。持續(xù)使用半年以上，換油時應(yīng)打開油蓋，用布擦凈油箱內(nèi)的污物。

重開設(shè)備前應(yīng)注意檢漏。

經(jīng)6個月連續(xù)使用，擴散泵的抽氣速度明顯減慢，或操作不當，充氣、拆管、卸電爐盤，擰開一級噴嘴，先用汽油將泵腔和泵膽清洗一遍，再用洗滌劑兌水清洗一遍，然后用清水徹底清洗干凈，待水揮發(fā)干后，裝上泵膽，加入新的擴散泵油，再裝回機身，接上管子，裝上電爐盤，即可重新啟動。重開設(shè)備前應(yīng)注意檢漏工作。

辦法：啟動維持泵，關(guān)閉閥門，數(shù)分鐘后，觀察擴散泵部分是否真空度達到6X10帕，否則要進行檢漏。確認連接處是否有密封膠圈，或密封膠圈被壓壞。排出泄漏隱患后方可加熱，否則擴散泵油會燒環(huán)，真空鍍膜設(shè)備不能正常工作。