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真空泵廣泛應用于真空干燥過程中。所謂真空干燥，就是將物料置于負壓下，通過加熱適當達到負壓下的沸點，或者通過冷卻使物料凝固后通過溶點干燥。物料中的水分在負壓下溶解點的沸點隨著真空度的增加而減少。同時，真空泵間隙可以吸收水分，降低水蒸氣含量，使物料中的水等溶液獲得足夠的動能，從物料表面脫離。由于真空干燥處于負壓狀態(tài)，部分在干燥過程中易氧化等化學變化的物料可以更好地保持原有特性，也可以通過注入惰性氣體后抽真空來更好地保護物料。常見的真空干燥設備有:真空干燥箱、連續(xù)真空干燥設備等。
真空干燥過程是將干燥材料放置在密閉的干燥室內(nèi)，在真空系統(tǒng)中抽真空的同時加熱干燥材料，使材料內(nèi)部的水分通過壓差和濃度擴散到表面，水分子在材料表面獲得足夠的動能，克服分子間的相互吸引力后，逃到真空室的低壓空間，被真空泵抽出的過程。
在真空干燥過程中，干燥室內(nèi)的壓力總是低于大氣壓力，氣體分子數(shù)少，密度低，氧含量低，可以干燥易氧化變質(zhì)的材料、易燃易爆的危險品等。對藥品、食品和生物制品有一定的消毒殺菌作用，減少材料菌的機會，抑制細菌的生長。
由于水在蒸化過程中的溫度與蒸汽壓成正比，真空干燥時，物料中的水可以在低溫下蒸化，可以在低溫下干燥。這有利于某些藥物、食品和農(nóng)副產(chǎn)品中熱敏物料的干燥。
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